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 無法在離線情況下精確測量超純水的電阻率/電導(dǎo)率。

電導(dǎo)率的計(jì)算公式如下：X 是電導(dǎo)率, F 是法拉第常數(shù), Ci 是某種離子濃度， Zi 是離子的電荷數(shù) ，Ui指離子的遷移能力。

X = FΣ CiZiui

 理論上，完全不含離子的超純水在25^oC時(shí)電導(dǎo)率為0.055μS/cm。 電阻率是電導(dǎo)率的倒數(shù)，為 18.2 MΩ.cm。

當(dāng)超純水暴露在外界環(huán)境中時(shí)，會(huì)被外界環(huán)境污染。實(shí)驗(yàn)室里的空氣中含有大量的離子，這些離子可以進(jìn)入超純水。 另外，測量電導(dǎo)率所用到的儀器（燒杯，電阻率儀/探針）也會(huì)帶入離子污染物。正如電導(dǎo)率的計(jì)算公式中所示，任何離子的增加都會(huì)影響電導(dǎo)率值，因?yàn)殡妼?dǎo)率與離子的種類和其所帶電荷成正比。